Wafer/MEMS/Film
應用於無人搬運車、Wafer倉儲系統、Robot維修檢測以及半導體相關測試，可做趨勢、角度、頻譜分析。
高速電阻量測，最高可達每通道2 MS/s。應用：落下測試、可靠度測試、電路板衝擊測試等。
晶圓彎曲應力、軟板彎曲等半導體應變量測。
可量測微小力量、施加穩定微力。應用：探針下針力量監測、四點探針測試薄膜時力量監測、對MEMS元件施加微力後瞭解其IV特性等。
自動下針與可控制微力的四點探針量測系統，可量測半導體材料以及導電薄膜之薄膜電阻。
量測半導體材料以及導電薄膜之薄膜電阻，可選擇單點量測獲多點掃瞄。
Wafer溫度量測，以不同色階顯示高低溫趨勢，待測件溫度狀態一目了然。
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