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自動四點探針量測系統
快速而直覺化的自動四點探針薄膜電阻量測系統
運用四點探針測量原理，量測各式片狀、塊狀之導體、半導體材料以及導電薄膜之薄膜電阻(Sheet Resistance，又稱薄層電阻、片電阻)。搭配高精度的自動四點探針台，可自動下針並且控制下針的微力，可輕易量得材料之薄膜阻抗，並廣泛運用於半導體、太陽能、OLED、微機電、燃料電池等各式產業上。
系統特色
- 方便易上手，直覺化的軟體操作介面。
- 自動下針加上100g微力反饋。
- 精密量測待測物之薄膜電阻。
- 定電流量測，可選擇單點量測或多點掃描。
- 已知薄膜厚度之情況下，同時推算出體電阻率與導電率。
- 採用CSV檔案儲存格式，方便使用者進行資料處理。預設搭配Keithley 2400 SMU。亦可依使用者需求，配合各式SMU與微歐姆計、高阻計客製化操作軟體。
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Chuck Size |
6”, 8”, 12” |
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Sample Geometry |
Circle or Square |
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Head Up / Down |
16mm |
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Force Control |
100g |
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Correct Factor |
Thickness & Geometry |
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Probe Pin Material |
BeCu(or Tungsten Carbide) |
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Probe Pin Spacing |
40mil, 50mil, 62.5mil |
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Probe Pin Spring |
45grams, 85grams, 180grams |
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Measure Item |
Sheet Resistance, Bulk Resistivity, Conductivity |
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Interface |
RS-232 or GPIB |
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Language |
English |
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PC Requirements |
CPU:P4, HD:1GB, USB 2.0 |
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Monitor Requirements |
1280*800 resolution |
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O.S. Supported |
WIN7/WIN10 |
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SMU Support |
Keithley 2400/2401 |
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