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四點探針量測系統
快速而直覺化的—四點探針薄膜電阻量測系統(Four-Point Probe Sheet Resistance Measurement)
運用四點探針量測原理，量測各式片狀或塊狀之導體、半導體材料以及導電薄膜的薄膜電阻(Sheet Resistance，又稱薄層電阻、片電阻)。搭配高精度的四點探針台以及快速準確的SMU(Source Measure Unit)，可輕易測得材料的薄膜阻抗，並廣泛應用於半導體、太陽能、OLED、微機電、燃料電池等各產業上。
四點探針量測系統特色:
- 方便易上手、直覺化的軟體操作介面。
- 精密量測待測物之薄膜電阻。
- 定電流量測。
- 可選擇單點量測或多點掃瞄。
- 已知薄膜厚度之情況下，同時推算出體電阻率(Bulk Resistivity)與電導率(Conductivity)。
- 採用.CSV檔案儲存格式，方便使用者進行資料處理。
- 預設搭配Keithley 2400 SMU。亦可依使用者需求搭配各式SMU與微歐姆計、高阻計客製化操作軟體。
| Chuck size | 6”,8”,12” | Measure item | Sheet Resistance, Bulk Resistivity, Conductivity |
| Sample geometry | Circle or Square | Interface | RS-232 or GPIB |
| Head Up/Down | 16mm | Language | English |
| Correct factor | Thickness & Geometry | PC Requirements | CPU:P4,HD:1GB,USB2.0 |
| Probe Pin Material | BeCu(or Tungsten Carbide) | Monitor Requirements | 1280*800 resolution |
| Probe Pin Spacing | 40mil,50mil,62.5mil | O.S. Supported | Windows XP, Windows 7, Windows10 |
| Probe Pin Spring | 45grams,85grams,180grams | SMU Support | Keithley 2400/2401 |
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