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應力台
提升半導體製程效能之重要工具
晶圓彎曲應力量測新趨勢：
依據國際半導體技術準則(ITRS)與英特爾CMOS 製程技術，應力技術已經成為先進奈米CMOS 製程(90nm 以及之後)技術之關鍵技術之一。此應力量測儀可以評估CMOS 元件的應力，也可以同時萃取壓阻係數。同樣，此應力量測儀也可以針對不同領域進行應力研究。例如：奈米線、奈米探管、 FinFET、 GaAs 元件、SiGe 通道元件、Ge 通道元件、MEMS、LED、OLED、PV…等等。
系統特色：
- 可直接量測出待測元件的應變量。
- 晶圓彎曲夾具機構簡單、操作容易。
- 此應力量測儀已有國際SCI 期刊使用。
- 彎曲夾具提供可變化的單軸向應力 (包含伸張及壓縮應力)。
- 應力量測儀可擴充至 應變I-V 量測，應變低頻雜訊量測等。
| 介面 | USB 2.0 | 最大測試尺寸 | 80×100 mm |
| 量測範圍 | 300 MPa*註1 | 施力支點調節範圍 | 95 mm |
| 應力解析度 | 0.05 MPa | 施力支點調整間距 | 無段調整 |
| 應力模式 | 伸張應力或壓縮應力 | 尺寸(長×寬×高) | 240×210×195 mm |
| 楊氏係數量測 | 支援 | 重量 | 5 Kg |
| 即時應力計算 | 支援 | 使用環境溫度 | -20 ~ +60℃ |
| 即時位移分析 | 支援 (選購) | 標準配件 | 校正片、USB連接線、軟體光碟 |
| 應力與作用力量測 | 支援 | 支援語言 | 英文 |
| 最大施力 | 100 N | 電腦基本需求 | CPU:P4, HD:1GB, USB 2.0 |
| 作用力調節行程 | 3 mm | 螢幕基本需求 | 1280*800 resolution |
| 作用力調整 | 同步調整 | 支援作業系統 | Windows XP, WIN 7, WIN10 |
*註 1: 此量測範圍是以晶圓之楊氏係數做計算依據。
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