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Vibration Sensing System—可實際量測Robot/Wafer/MASK動作或搬運時的振動

Robot已廣泛運用在半導體廠房中，可做Wafer、MASK的搬運或傳送，但Robot在使用一段時間後，會產生傳動皮帶的彈性疲乏、機械的磨耗與背隙，造成Robot在運作時會有異常的抖動，這在半導體製程中是要極力避免的，因此Robot何時該做維修保養? 維修後是否回復到原有的精度水準? 必須有一套方法可以有效的去量測或確認。巨克富所開發之Vibration Sensing System，具備Wafer、MASK或長方體外型，可量測Robot在傳送Wafer或MASK時的振動，內建高精度三軸振動感測器，可高速完整記錄整個過程的振動與角速度，紀錄可透過WiFi即時傳輸或SD記憶卡儲存資料，連續記錄時間可長達4hrs。可應用於：無人搬運車、Wafer倉儲系統，Robot維修檢測。

系統特色：

• 無線量測技術，連續記錄可達4hrs。
• 體積輕巧，可依照客戶需求打造外型。
• 內建感測器，可量測三軸加速度及三軸角速度。
• 量測軟體可做頻譜、角度、趨勢分析。 
   

型號選單：

型號	VSS-8	VSS-12	VSS-Mask	VSS-Cub
尺寸規格(mm)	Φ203(8")x6.7(T)	Φ305(12")x7.0(T)	152(W)x152(D)x6.5(H)	82(W)x77(D)x31(H)
重量(g)	180	260	320	250
工作時間(hr)	4hrs	4hrs	4hrs	4hrs*註

*註：VSS-Cub可選購外接電源模組，搭配外接電源模組即可做長時間記錄。

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