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VSSⅡ
無線振動記錄器—VSSⅡ
VSSⅡ可以量測三軸振動、精準的傾角、溫度與濕度。外型輕薄，厚度僅4mm，提供兩種尺寸(8吋與12吋)選擇。
我需要VSSⅡ嗎?
擔心設備運作時異常抖動，導致材料損壞、製程發生問題?又或是不確定設備該保養了嗎? 維修後的設備是否達到原有的精度水準?
讓VSSⅡ來協助有上述困擾的您吧! 它可以量測機械手臂傳送晶圓時的振動，高速且完整記錄運作過程的振動。平時使用VSSⅡ檢測可以知道運作是否異常，需不需要保養；維修後檢測則能確認運作是否達到以往水準。
想要確保設備運作順暢，避免製程發生問題與材料耗損，就讓VSSⅡ來替你把關。
VSSⅡ系統特色
- 無線量測技術，連續記錄可達4小時。
- 內建感測器，可量測三軸振動、傾角、溫度、濕度。
- 量測軟體可做頻譜、角度、趨勢分析。
- 應用範圍：自動倉儲、AGV無人搬運車、Wafer robot晶圓機械手臂、FOUP、OHT、Wafer stocker等振動與傾角檢測。
VSSⅡ軟體畫面
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| Real-Time Waveform | Angle |
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| FFT | Report-Raw data |
相關推薦
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量測項目 |
三軸加速度、 傾角、溫溼度註 |
尺寸 |
直徑300mm or 200mm /厚度4mm (±0.2mm) |
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擷取速度(S/s) |
125、250、 500、1000 |
重量 |
242g |
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量測 範圍 |
加速度(g) |
±2, ±4, ±8 |
分析功能 |
YT曲線、頻譜分析、統計圖、 角度分析、向量和、振動位移、事件註記 |
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俯仰角(°) |
±45° |
量測模式 |
連續記錄 |
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傾角(°) |
±45° |
資料儲存 |
電腦(透過藍芽) |
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解析度 |
加速度 (20-bit) |
4μg @ 2g range 8μg @ 4g range 16μg @ 8g range |
濾波分析 |
Low pass、High pass、Band pass、 Band stop |
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俯仰角(°) |
0.005° |
頻譜分析 |
FFT、Power Spectrum、 Power Spectrum density |
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傾角(°) |
0.005° |
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溫度 |
0°C~60°C (±0.3°C) |
統計圖 |
Max、Min、RMS、Mean、P-P |
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濕度 |
0%~100% RH (±2%@20%~80%) |
FFT Average |
RMS、Peak hold、None |
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無線通訊 |
藍芽 |
資料重播與分析 |
單步前進、單步後退、連續播放 |
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電源需求 |
內建Battery |
資料輸出 |
CSV / Excel Format |
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工作時數 |
>4 小時 |
支援語系 |
英文 |
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註：溫溼度擷取速度為1 S/s
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