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應力台

提升半導體製程效能之重要工具.
StressStation

 
晶圓彎曲應力量測新趨勢
 
依據國際半導體技術準則(ITRS)與英特爾CMOS 製程技術,應力技術已經成為先進奈米CMOS 製程(90nm 以及之後)技術之關鍵技術之一。此應力量測儀可以評估CMOS 元件的應力,也可以同時萃取壓阻係數。同樣,此應力量測儀也可以針對不同領域進行應力研究。例如:奈米線、奈米探管、 FinFET、 GaAs 元件、SiGe 通道元件、Ge 通道元件、MEMS、LED、OLED、PV…等等。
 
系統特色:
  • 可直接量測出待測元件的應變量。 
  • 晶圓彎曲夾具機構簡單、操作容易。
  • 此應力量測儀已有國際SCI 期刊使用。
  • 彎曲夾具提供可變化的單軸向應力 (包含伸張及壓縮應力)。 
  • 應力量測儀可擴充至 應變I-V 量測,應變低頻雜訊量測 等。 

 

規格: 
介面
USB 2.0 最大測試尺寸 80×100 mm
量測範圍 300 MPa*註1 施力支點調節範圍 95 mm
應力解析度 0.05 MPa 施力支點調整間距 無段調整
應力模式 伸張應力或壓縮應力 尺寸(長×寬×高) 240×210×195 mm
楊氏係數量測 支援 重量 5 Kg
即時應力計算 支援 使用環境溫度 -20 ~ +60℃
即時位移分析 支援 (選購) 標準配件 校正片、USB連接線、軟體光碟
應力與作用力量測 支援 支援語言 英文
最大施力 100 N 電腦基本需求 CPU:P4, HD:1GB, USB 2.0
作用力調節行程 3 mm 螢幕基本需求 1280*800 resolution
作用力調整 同步調整 支援作業系統 Windows XP, WIN 7

 

產品規格
 
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