巨克富科技 Chief SI Co., Ltd.
 
 
 
應變量測系統
振動量測系統
半導體相關量測
OLED
NVH
高效能記錄器
車輛相關檢測系統
動力計系統
CAN Bus
Gear Box
無線量測設備
可靠度量測系統
感測器
訓練課程
綜合型錄
 
 
 
蝕刻機臺振動監控系統 ENGLISH VERSION回首頁

 

系統概述

Etcher A8 VMS是專為採用氣壓缸運輸設計的金屬蝕刻機台 (例如Applied Materials DPS Metal Etcher) 所量身訂作的

一套振動監控系統。目的在於偵測設備內氣壓缸運作過程中的不正常振動現象,該振動現象會使晶圓在輸送至腔體的

過程中,跳離原本的定,進而導致蝕刻結果與原本的設計不同,而產生製程損失。若按照原廠提供的維護時程進行更換

,理應不會發生不正常振動現象,但經驗顯示該維護時程偏短,氣壓缸在運作正常的情況下就被迫更換。藉由導入本系

統,客戶可以持續觀察氣壓缸的微小異常振動現象,並在該振動現象達到足以造成晶圓損壞的幅度之前,再排程進行設

備維護及氣壓缸元件更換,延長氣壓缸的維護時程。如此即可達成預先維護排程、降低設備維護成本、降低製程損失、

提高良率以及提升設備稼動率的五重效益。

系統規格

n   16類比輸入通道,最多可同時監控8台蝕刻機台16組氣壓缸的運作狀態

n   16數位輸出通道,可直接與蝕刻機台的interlock介接,並於異常狀況發生時,自動下令機台停止動作

n   100 Hz監控頻寬,最高可達1 kHz

n   振動傳感器線路距離最遠可達50 m

n   主機尺寸 418 mm (W) * 540 mm (D) * 130 mm (H),可安裝於19” 機櫃內 (需加購導軌)

n   110 VAC電源輸入

n   Intel® Atom™ N270 1.6 GHz fanless embedded controller

n   1 GB DDR2 RAM

n   32 GB SATA Solid State Disk

n   1000/100/10 Mbps Ethernet port

軟體功能特點介紹

n   將氣壓缸振動幅度分為正常、預警及警示三級,可自行定義及調整其振幅範圍

n  即時顯示各氣壓缸之振動幅度、預警事件及警示事件,並可依據實際監控的通道數,調整振動幅度的顯示方式,資訊可視性高

n   自動儲存各氣壓缸之振動幅度歷史資料、預警事件歷史資料及警示事件歷史資料

n   可透過Ethernet將各氣壓缸之振動幅度歷史資料即時輸出至資訊管理系統

n   可選擇啟動或關閉警示狀態下的機台interlock功能

產品規格
使用者解決方案
常問問題
巨克富科技有限公司 新竹縣芎林鄉五龍村五和街196號  電話:03-5936268  傳真:03-5936228  網站設計/KissDesign   Job Offer Map Contact us